标准详情与信息
标准名称：电子级四甲基硅烷
标准号：GB/T 46699-2025
发布日期：2025-10-31
实施日期：2026-05-01
管理部门：国家标准委
行业分类：电子学
此标准规定了半导体行业用电子级四甲基硅烷的技术要求、检验规则、包装、标志、随货资料、运输、贮存及安全警告的要求，描述了相应的检测方法。
此标准适用于沉积氧化硅、碳化硅等硅基薄膜的电子级四甲基硅烷，作为集成电路的刻蚀硬掩层、介电层等功能层；也适用于高纯电子清洗剂和标准试剂的电子级四甲基硅烷。
起草单位与起草人
起草单位包含：南大光电半导体材料有限公司、苏州实验室、中国电子技术标准化研究院、江苏南大光电材料股份有限公司、广州赛西标准检测研究院有限公司、长江存储科技有限责任公司、上海市计量测试技术研究院、中芯国际集成电路制造（北京）有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、全椒南大光电材料有限公司、宁波南大光电材料有限公司、南大光电（乌兰察布）有限公司、浙江中宁硅业股份有限公司、金宏气体股份有限公司、艾生科（江苏）化工科技有限公司、南大光电（淄博）有限公司。
起草人包含：陈德义 、徐文涛 、曹可慰 、茅炳荣 、史泽远 、陈功锋 、张汝志 、马瑞 、孙明璐 、李春华 、孙鹏 、张婷 、赵俊莎 、张健 、鲁铮 、李雪 、高周 、吴怡然 、万烨 、郝萍 、郭威 、魏良杰 、毛国玉 、汪晨 、栗广奉 、刘见华 、刘立伟 、张宝帅 、孙丽丽 、赵斌 、曹益宁 、陆平 、张鹏 、彭元兵 、许胜霞 、刘能巧 、周礼 、孟庆典 、王艺潼 、孙建 、高朋 、张佳瑶 、钱瑶 。
*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。