标准详情与信息
标准名称：电子级八甲基环四硅氧烷
标准号：GB/T 46697-2025
发布日期：2025-10-31
实施日期：2026-05-01
管理部门：国家标准委
行业分类：电子学
此标准规定了半导体行业用电子级八甲基环四硅氧烷的技术要求、检验规则、包装、标志、随货资料、运输、贮存及安全警告的要求，描述了对应的检测方法。
此标准适用于沉积氧化硅、碳氧掺杂硅、碳化硅等硅基膜的电子级八甲基环四硅氧烷，以其优异的绝缘性和耐高温性在半导体领域用作封装隔离层、集成电路绝缘层和介电层等。
起草单位与起草人
起草单位包含：南大光电半导体材料有限公司、苏州实验室、中国电子技术标准化研究院、江苏南大光电材料股份有限公司、广州赛西标准检测研究院有限公司、长江存储科技有限责任公司、浙江佳汇新材料有限公司、中芯国际集成电路制造（北京）有限公司、上海市计量测试技术研究院、云南能投硅材科技发展有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、全椒南大光电材料有限公司、浙江新安化工集团股份有限公司、宁波南大光电材料有限公司、湖北兴瑞硅材料有限公司、南大光电（乌兰察布）有限公司、金宏气体股份有限公司、南大光电（淄博）有限公司。
起草人包含：陈德义 、沈伊凡 、曹可慰 、茅炳荣 、史泽远 、曹益宁 、孙建 、赵俊莎 、刘立伟 、马瑞 、孙鹏 、张婷 、徐文涛 、李春华 、张健 、何靖 、鲁铮 、吴怡然 、白伟 、宋芳源 、万烨 、高周 、王荣 、李加旺 、江晓婷 、毛国玉 、张宝帅 、李俊杰 、汪晨 、孙丽丽 、刘阳赞 、王勇 、陈功锋 、陆平 、张鹏 、李书兵 、彭元兵 、刘能巧 、王敏华 、李双 、魏有文 、刘治 、陈琪 、钱瑶 。
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