标准详情与信息
标准名称：碳基薄膜 椭偏光谱法测定非晶态碳基薄膜的光学性能
标准号：GB/T 44538-2024
发布日期：2024-09-29
实施日期：2025-04-01
管理部门：中国机械工业联合会
行业分类：机械制造
此标准描述了使用椭偏光谱法测定非晶碳基薄膜光学特性(折射率n和消光系数k)以及通过n-k 图谱进行不同类型非晶碳基薄膜分类的方法。
此标准适用于通过离子蒸镀、溅射、电弧沉积、等离子体辅助化学气相沉积、热丝等工艺沉积的非晶碳基薄膜。
此标准不适用于通过金属或硅改性的非晶碳基薄膜，或在薄膜厚度上存在成分/性质梯度的非晶碳基薄膜。
起草单位与起草人
起草单位包含：中国机械总院集团武汉材料保护研究所有限公司、纳狮新材料有限公司、安徽纯源镀膜科技有限公司、中国科学院深圳先进技术研究院、广东电网有限责任公司、广州今泰科技股份有限公司。
起草人包含：段海涛 、贾丹 、曹一莹 、张心凤 、沈学忠 、高明 、詹胜鹏 、凃杰松 、王彦峰 、王流火 、杨田 、陈辉 、骆小双 、尤锦鸿 、易娟 、苏东艺 。
*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。