标准详情与信息
标准名称：硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法
标准号：GB/T 42263-2022
发布日期：2022-12-30
实施日期：2023-04-01
管理部门：国家标准化管理委员会
行业分类：冶金
此标准适用于硼、锑、砷、磷的掺杂浓度小于1×1020cm-3（0.2%）的硅单晶中氮含量的测定，测定范围不小于1×1014cm-3。
起草单位与起草人
起草单位包含：中国电子科技集团公司第四十六研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司。
起草人包含：马农农 、何友琴 、李素青 、陈潇 、刘立娜 、何烜坤 。
*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。