标准详情与信息
标准名称：纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法
标准号：GB/T 42106-2022
发布日期：2022-12-30
实施日期：2023-07-01
管理部门：中国科学院。
行业分类：数学、自然科学
此标准适用于离子束辐照诱导直立纳米线和平面纳米薄膜的空间应变，进而实现三维空间中由一维纳米线和二维纳米薄膜构成的三维纳米结构与器件。
起草单位与起草人
起草单位包含：中国科学院物理研究所、国家纳米科学中心、深圳市标准技术研究院。
起草人包含：顾长志 、杨海方 、李俊杰 、刘前 、王益群 、樊阳波 。
*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。