GB/T 36705-2018 氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法

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GB/T 36705-2018 氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法

标准详情与信息

标准名称:氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法

标准号:GB/T 36705-2018

发布日期:2018-09-17

实施日期:2019-06-01

管理部门:国家标准化管理委员会

行业分类:冶金

此标准适用于在蓝宝石、碳化硅、硅、氮化镓材料上生长的N型氮化镓衬底片载流子浓度的测试。测试范围:11017cm-3~11020cm-3。

起草单位与起草人

起草单位包含:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、有色金属技术经济研究院、东莞市中镓半导体科技有限公司、中国电子技术标准化研究院。

起草人包含:郑树楠 、张育民 、石林 、邱永鑫 、王建峰 、徐科 、付雪涛 、杨素心 、丁晓民 、陆敏 、杨建 。

*本网站标准资料仅供参考,使用标准请以正式出版的标准版本为准。