标准详情与信息
标准名称：制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备
标准号：GB/T 36646-2018
发布日期：2018-09-17
实施日期：2019-01-01
管理部门：国家标准化管理委员会
行业分类：电子学
此标准适用于制备直径50.8mm~152.4mm氮化物半导体材料的HVPE设备。
起草单位与起草人
起草单位包含：东莞市中镓半导体科技有限公司、中国电子技术标准化研究院。
起草人包含：刘鹏 、孙永健 、丁晓民 、冯亚彬 、王健辉 。
*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。