标准详情与信息
标准名称：低位错密度锗单晶片腐蚀坑密度（EPD）的测量方法
标准号：GB/T 34481-2017
发布日期：2017-10-14
实施日期：2018-07-01
管理部门：国家标准化管理委员会
行业分类：冶金
此标准适用于测试位错密度小于1000个／cm2、直径为75mm~150mm的圆形锗单晶片的位错腐蚀坑密度。
起草单位与起草人
起草单位包含：云南中科鑫圆晶体材料有限公司、云南临沧鑫圆锗业股份有限公司、中科院半导体研究所。
起草人包含：惠峰 、普世坤 、董汝昆 。
*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。