GB/T 34326-2017 表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度测量方法

标准详情与信息

标准名称：表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度测量方法

标准号：GB/T 34326-2017

发布日期：2017-09-29

实施日期：2018-08-01

管理部门：国家标准化管理委员会

行业分类：化工技术

这些方法均适用于束斑直径小于1mm的离子枪。

起草单位与起草人

起草单位包含：中国计量科学院。

起草人包含：王海 、王梅玲 、张艾蕊 、宋小平 。

*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。