标准详情与信息
标准名称：光刻用石英玻璃晶圆
标准号：GB/T 34177-2017
发布日期：2017-09-07
实施日期：2018-08-01
管理部门：中国建筑材料联合会
行业分类：玻璃和陶瓷工业
此标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统(MEMS)、光电器件和发光二极管(LED)等光刻工艺中用做衬底的石英玻璃晶圆。
起草单位与起草人
起草单位包含：中国建材检验认证集团股份有限公司、中建材衢州金格兰石英有限公司、长沙韶光铬版有限公司、中国建筑材料科学研究总院、国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心。
起草人包含：吴洁 、王京侠 、王友军 、李弋舟 、花宁 、刘焕敏 、肖颂华 、聂兰舰 、张浩运 、杨晓会 、杨学东 、孔敏 、张应语 。
*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。