标准详情与信息
标准名称：真空镀膜设备通用技术条件
标准号：GB/T 11164-2011
发布日期：2011-11-21
实施日期：2012-03-01
管理部门：中国机械工业联合会
行业分类：流体系统和通用件
起草单位与起草人
起草单位包含：北京北仪创新真空技术有限责任公司、上海曙光机械制造厂有限公司、兰州真空设备有限责任公司、成都南光机器有限公司、中国航天科技集团第五研究院510研究所等。
起草人包含：陈月增 、谢钧荣 、范立群 、孙凯 、温发兰等 。
*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。