GB/T 25755-2010 真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量

标准详情与信息

标准名称：真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量

标准号：GB/T 25755-2010

发布日期：2010-12-23

实施日期：2011-10-01

管理部门：中国机械工业联合会

行业分类：流体系统和通用件

起草单位与起草人

起草单位包含：北京中科科仪技术发展有限责任公司、沈阳真空技术研究所。

起草人包含：邹蒙 、张勤德 、朱国精 、马殿理 、李春影 。

*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。