GB/T 15909-2009 电子工业用气体 硅烷（SiH4）

标准详情与信息

标准名称：电子工业用气体 硅烷（SiH4）

标准号：GB/T 15909-2009

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-05-01

管理部门：国家标准化管理委员会

行业分类：化工技术

起草单位与起草人

起草单位包含：浙江大学材化学院半导体材料研究所、西南化工研究设计院。

起草人包含：余京松 、周鹏云 。

*本网站标准资料仅供参考，使用标准请以正式出版的标准版本为准。